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集成传感器
集成传感器是新型传感器重要的发展方向之一。微加工技术可将敏感元件、测量电路、放大器及温度补偿元件等集成在一个芯片上，这样不仅具有体积小、重量轻、可靠性高、响应速度快、稳定等特点，而且便于批量生产，成本较低。在各种半导体材料中，以硅为基底材料的集成传感器发展最快。硅集成传感器是硅物理效应与平面技术相结合的产品，例如，集成温度传感器、霍尔集成电路及扩散硅压力传感器等。采用集成传感器可简化电路设计，减小产品体积，便于安装调试，提高可靠性并降低成本，因此，很多传感器都向集成方向发展。集成传感器己广泛应用于汽车、家用电器、医疗卫生及航空航天技术中。
